更新時間:2026-03-24
瀏覽次數:248
二次離子質譜儀(SIMS)作為飛行時間質譜儀的重要細分類型,是半導體、生命科學等關鍵領域的核心材料表面分析工具。該類儀器因技術復雜度高、研發周期長、資金投入強度大,長期以來被少數跨國企業壟斷,成為我國高精尖科學儀器領域的 “卡脖子" 產品之一。雪迪龍聚焦這一技術空白,持續推進二次離子質譜儀的自主研發與產業化,此次中標高校項目,正是國產質譜儀打破進口依賴、獲得科研領域認可的直接體現。
飛行時間質譜儀(TOF-MS)是將飛行時間檢測技術與質譜分析技術相結合的gao端分析設備,而二次離子質譜儀則是其在表面分析領域的核心應用形態。雪迪龍研發的飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS),整合了兩者的技術優勢,兼具高分辨率、高靈敏度、精確質量測定等核心特性,憑借質譜分析、二維成像、深度剖析三大核心功能,已廣泛適配醫學、細胞學、地質礦物學、微電子、材料化學、納米科學、生命科學等多個前沿領域的科研與檢測需求。其核心工作原理清晰易懂:離子源發射的離子束作為一次離子源,經一次離子光學系統聚焦與傳輸后,精準轟擊樣品表面;樣品表面受濺射后產生二次離子,系統對二次離子進行提取與聚焦,隨后送入離子飛行系統;在飛行系統中,不同質荷比(m/z)的二次離子因飛行速度差異實現分離,通過對分離后的離子進行檢測,即可完成樣品元素成分、分布特性等相關分析。
相較于能量色散 X 射線光譜(EDX)、俄歇電子能譜(AES)、X 射線光電子能譜(XPS)等傳統技術,飛行時間二次離子質譜儀具備更高的橫向與縱向分辨率,以及更優的質譜靈敏度,可實現元素、同位素、分子等多維度信息的精準分析,能夠提供傳統技術無法覆蓋的專屬元素信息,為前沿科研與工業檢測提供核心技術支撐。